先进能源材料化学教育部重点实验室（南开大学） Key Laboratory of Advanced Energy Materials Chemistry, Ministry of Education (Nankai University)

仪器名称：冷场发射扫描电子显微镜

生产厂家：日本电子株式会社（JEOL）

型号：JSM-7500F

主要规格及技术指标：

分辨率：3.0nm @1 kV 1.2nm @30 kV
加速电压：0.1-30 kV连续可调
溅射电流：10,20,30,40mA
溅射靶：铂金

主要功能及特色：

1.主动式减震器
2.先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台
4.全自动样品更换气锁
5.全自动样品监控系统
6.全自动物镜光阑
7.多通道显示系统
8.自动减速系统标准配置